ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ 主管:中国乐凯集团有限公司 主办:北京乐凯科技有限公司
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【摘要】为了满足热电阻对涡轮叶片准确测温的要求，需要将叶片表面与热电阻进行高温绝缘。采用电子束蒸发的方法制备了不同层结构的氧化铝薄膜。然后利用扫描电镜（SEM）和 X 射线衍射（XRD）研究了样品微观结构，并测试了其高温绝缘性能。结果表明：随着薄膜层数的增加，其结晶性能逐渐增强，截面结均匀性以及致密性逐渐增强，高温绝缘电阻显著增大。发现三层结构的氧化铝薄膜绝缘层通过 600℃退火 200min 热处理后，在 800℃左右温度下的绝缘电阻超过了 43kΩ，满足了热电阻在高温环境下的电学绝缘要求，从而保证了涡轮叶片表面的准确测温。
