信息记录材料

ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ 主管:中国乐凯集团有限公司主办:北京乐凯科技有限公司

中国知网全文收录期刊
万方数据库收录期刊
RCCSE中文学术期刊
维普资讯网/超星域出版全文收录
中国核心期刊(遴选)数据库收录期刊

首页 > 刊期 > 2021 > 3期 > 综合：探索与发现

晶体生长炉的压力控制系统设计

连亚宣，王海龙

【摘要】本文旨在设计一种排气系统，可对压力容器、压力烧结炉等，将设备中影响合成材料的杂质排除，可提高设备使用寿命，更可在提高产品品质等方面有很大的改善作用，如 SiC 单晶生长、LED 荧光粉的合成。

【关键字】晶体生长炉；气体过滤；减少杂质影响