ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ 主管:中国乐凯集团有限公司 主办:北京乐凯科技有限公司
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ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ 主管:中国乐凯集团有限公司 主办:北京乐凯科技有限公司
【摘要】针对传统物理气相传输（ＰＶＴ）法碳化硅晶体生长依赖人工操作导致的稳定性差、一致性低、成本高等问题，本研究提出将自动控制技术应用于该工艺过程，通过构建多传感器实时监测系统（包含温度、压力、晶体厚度等参数），结合改进的比例－积分－微分（ＰＩＤ）控制策略（引入降温速率补偿项），实现了碳化硅晶体生长全过程的自动化调控。 结果表明：与传统人工控制相比，该技术能够有效降低籽晶温度波动幅度，将晶体厚度最大偏差控制在±０.４８ ｍｍ，并且能够提升生长成功率，降低综合生产成本，有效提升晶体生长质量、效率及稳定性。
