ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ 主管:中国乐凯集团有限公司 主办:北京乐凯科技有限公司
【摘要】随着智能家居的快速发展与应用,被称为“神经元”的传感器在该领域愈发重要。 针对智能家居环境对精准湿度感知的需求,本文设计了一种基于还原氧化石墨烯(RGO)的微型化湿度传感器。 该传感器采用聚酰亚胺基底支撑叉指电极架构,通过微纳加工与喷涂工艺制备多孔 RGO 敏感膜,在 5 mm×5 mm 微型封装内实现高灵敏湿度检测。 基于饱和盐溶液法构建了六种标准湿度环境测试系统。 实验表明:传感器在宽湿度范围内呈现 0.988 的线性度与 0.46 kΩ/ % RH(RH 表示相对湿度)的灵敏度,三次重复测试电阻波动小于 0.85%。 这种具有柔性和高灵敏度特点的相对湿度传感器在智能家居领域将具有广阔的应用前景与价值。