ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ    主管:中国乐凯集团有限公司    主办:北京乐凯科技有限公司

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首页 > 刊期 > 2025 > 4期 > 综合:探索与发现
基于 PDMS 构成的法布里-珀罗(Fabry⁃Perot) 腔高灵敏度温度传感器
陈婧婷,江  超(通信作者)

【摘要】为满足工业生产上对高灵敏度温度传感器的重大需求,本文提出并验证了一款高灵敏度的法布里-珀罗(Fabry⁃Perot,F⁃P)腔温度传感器。 首先将一段单模光纤( single⁃mode fiber,SMF)和一段石英毛细管拼接,然后在毛细管端面填充聚二甲硅氧烷(PDMS)。 在单模光纤和 PDMS 之间形成了一个 F⁃P 空气腔,构成一个低精细度 F⁃P 干涉仪(Fabry⁃Perot interferometer,FPI)。 由于PDMS 具有很高的热膨胀系数,因此当环境温度变化时,PDMS 膨胀引起 F⁃P 腔的腔长变短,导致 FPI 反射谱中波谷波长漂移,解调波谷波长的漂移量获得环境温度值。 结果表明:传感器的温度灵敏度高达 2. 05 nm/ ℃ ,测量误差仅为 0.2 ℃ 。 此外,传感器还具有稳定性好、鲁棒性强、结构制作重复性好等优点,在工业生产中具有一定应用前景。


【关键字】光纤传感器;法布里-珀罗干涉仪(FPI);石英毛细管;聚二甲硅氧烷;温度
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