激光加工技术在光学元件制造中的进展与挑战
高致远
【摘要】针对光学元件制造中精度与功能化需求日益提高的现状,本文首先详细探讨了激光加工技术的基本原理,分析了其在光学元件制造中的显著优势。然后对技术的萌芽阶段、发展阶段和突破阶段的研究进展进行了系统梳理,涵盖了激光微纳制造、激光烧蚀、飞秒激光以及激光诱导等离子体沉积与反应沉积等方面的技术。最后探讨了当前技术面临的热影响区最小化、高反射率材料加工难度等挑战,并展望了未来在新材料和新工艺开发中的发展趋势。
【关键字】激光微纳制造;飞秒激光技术;光学元件精密加工
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