ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ    主管:中国乐凯集团有限公司    主办:北京乐凯科技有限公司

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首页 > 刊期 > 2025 > 1期 > 论著
用于碳化硅晶体生长的多孔碳化钽材料制造理论研究
张逊熙,曹洪涛,赵正星,范金桃

【摘要】本研究旨在开发一种基于激光粉末床熔融( laser powder bed fusion,PBF⁃LB/ M) 技术的理论模型,以制备用于碳化硅(silicon carbide,SiC)晶体生长的多孔碳化钽(tantalum carbide,TaC)材料。目标是制备孔隙率约为50%,平均孔径为40 μm,厚度为2mm,直径为300 mm 的多孔TaC 盘片。通过热场模拟和微观结构建模,优化工艺参数,并预测材料的力学和热物理性能。结果表明:PBF⁃LB/ M 工艺可以有效控制多孔TaC 的孔隙结构和性能,为其在实际应用中的推广提供理论基础。通过有限元分析和模拟研究,研究人员确定了最佳的激光功率、扫描速度和层厚参数。这些优化参数不仅能实现均匀的热场分布,还能在材料的孔隙率和孔径方面达到预期目标。本研究为多孔TaC 材料的产业化应用奠定了坚实的理论基础,并为进一步验证提供了详细的指导方向。

【关键字】碳化钽(TaC);多孔TaC;碳化硅(SiC)长晶
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