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热盘排风结构对非感光聚酰亚胺胶膜制备工艺的影响

齐鹏，孙鹏，姜倍鸿，王颢然，邢栗（通信作者）

【摘要】本文研究了中心和环抱型两种排风结构热盘对一种非感光聚酰亚胺（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ，ＰＩ）胶膜制备工艺的影响。结果表明：经中心排风热盘烘烤后的聚酰亚胺胶膜中，光阻溶剂Ｎ－甲基吡咯烷酮（ｎ⁃ｍｅｔｈｙｌｐｙｒｒｏｌｉｄｏｎｅ，ＮＭＰ）在气流的作用下汇聚至晶片中心，导致中心溶剂含量分布较高是造成后期过显影问题的主要原因；而环抱式排风热盘内部气流更加流畅均匀，溶剂ＮＭＰ可有效置换，中心溶剂含量分布较高现象消失可显著改善聚酰亚胺光阻涂覆工艺中因溶剂含量分布不均而导致的显影问题。

【关键字】涂胶显影；聚酰亚胺；热盘结构；溶剂含量；显影工艺；膜层厚度