【摘要】将 ４Ｈ⁃ＳｉＣ 衬底上的 Ｔｉ ／ ＴｉＮ／ Ｐｔ 电极样品在 ８００ ℃ 真空环境下退火 ２０ ｍｉｎ，形成欧姆接触，再分别在 ６００ ℃ 、７００ ℃ 、８００ ℃ 、９００ ℃下老化 １ ｈ 和在 ６００ ℃下分别老化 １ ｈ、２ ｈ、４ ｈ、８ ｈ，通过测试电极的比接触电阻、表面形貌和元素含量，从而研究 ４Ｈ⁃ＳｉＣ 衬底上 Ｔｉ ／ ＴｉＮ／ Ｐｔ 电极的高温性能。 研究发现，４Ｈ⁃ＳｉＣ 衬底上 Ｔｉ ／ ＴｉＮ／ Ｐｔ 电极在高温环境下发生金属互扩散，在电极表面生成白色氧化物颗粒物，导致电学特性退化。 研究表明：在 ７００ ℃ 高温环境下，４Ｈ⁃ＳｉＣ 衬底上 Ｔｉ ／ ＴｉＮ／ Ｐｔ 电极的电学特性严重退化；在８００ ℃以上的高温环境中，电极欧姆特性消失；在 ６００ ℃高温环境下，电极的比接触电阻随着老化时间增加，离散性逐步增大。