ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ    主管:中国乐凯集团有限公司    主办:北京乐凯科技有限公司

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首页 > 刊期 > 2023 > 2期 > 综述
铁电场效应晶体管材料设计的研究进展
高 武，李星星，刘礼祥，张志伟，郭伟钦

【摘要】铁电场效应晶体管（FeFET）作为最有潜力的下一代非易失性存储器之一，引起研究人员的广泛关注。本文 系统阐述了 FeFET 的工作原理及结构设计，介绍了 FeFET 结构中铁电材料和缓冲层材料的探索历程及所对应的器件性能。 本文提出了一种新型 FeFET 结构设计，有望改善薄膜之间的界面效应。最后总结了 FeFET 的研究进展，并对未来研究做 出展望。

【关键字】铁电场效应晶体管；非易失性存储器；铁电材料；缓冲层材料；界面效应；薄膜；结构设计；器件性能


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