【摘要】微流控芯片研究已经在众多领域中具有重要的应用价值，如疾病诊断、药物筛选、材料合成、司法鉴定、航空航天等。飞秒激光微细加工技术在小尺度和高精度的微流控中得到了突破，采用飞秒激光技术对微孔和微流道的加工有较好的作用效果。本文选用聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）作为实验材料，研究飞秒激光的脉冲个数和激光功率对加工微孔的直径、深度、圆度以及微流道的宽度、形貌的影响。结果表明，随着脉冲个数和激光功率的增加，微孔直径、深度都呈现上升的趋势。最优参数组合：脉冲数 3 000 个、激光功率 162 m W，直径最大是 168 μm，深度最大是 160 μm，以此获得了直径小、深度大、孔形圆度规整且形貌特征较好的微流道，为确定微流控芯片的飞秒激光加工技术参数提供借鉴。