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等离子体制备纳米氮化钨薄膜的研究现状

何革

【摘要】近年来，纳米材料及等离子体制备技术在国内外受到了越来越高的重视，过渡金属氮化物由于其类似贵金属铂的电子特性，具有优异的电导性、好的抗腐蚀能力、高熔点等特点，用于在各种材料上形成坚硬、耐磨的保护涂层，且被广泛用于电极材料和催化剂制备等领域。本文总结国内外目前用等离子体制备纳米结构氮化钨的研究现状并做出展望。

【关键字】等离子体；纳米；氮化钨