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纳米压印技术及发展

周雪，白玲，邢勇，代晓南

【摘要】微纳米加工技术作为一种典型的先进制造技术，通过压模的方法来实现纳米结构的批量复制，在小型甚至微型元器件、微型芯片及生物传感器的制造、批量化生产中具有不可取代的作用。纳米压印技术不仅具有较低的成本、较高的分辨率及生产效率，而且拥有良好的兼容性与继承性、制造工艺方便等特点。文章对纳米压印的三种常用技术进行了简述，同时列举了一些新型纳米压印的方法，还概括了纳米压印技术面临的挑战，并对该技术的研究现状及应用进行了综述。

【关键字】纳米压印技术；纳米结构；批量复制