ISSN 1009-5624 CN 10-2021/TQ    主管:中国乐凯集团有限公司    主办:北京乐凯科技有限公司

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首页 > 刊期 > 2021 > 5期 > 材料：实验与研究
化学气相沉积合成石英玻璃中二氧化硅团簇形成分子 动力学模拟
周鸣飞，黄耀松

【摘要】本文采用 R e a x F F 力场开展气相 S i O2 分子冷却形成团簇过程的分子动力学模拟，研究讨论了体系在初始温 度为 2500K、2414K 和 2326K 下，经过 1000K 下降后的成核过程，结果表明在一定温度和压力条件下分子自发形成团簇 是可以发生的，团簇形成过程是由 Si-O 键断裂开始，经历分子吸附后不断长大，这个过程伴随着能量及饱和比的突变。 

【关键字】二氧化硅；团簇；气相成核；分子动力学模拟；ReaxFF


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