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现场制氟纯化及氟氮混合气体充装技术的研究

林百志

【摘要】高纯氟气的生产是将电解槽电解产生的粗氟，经过特殊的工艺处理，除掉含量较高的氟化氢，使之纯化成为高纯氟气。从工艺角度探讨了如何处理氟气中的氟化氢，即将电解槽产出的普通氟气通过物理、化学方法纯化，除去大部分气体氟化氢，获得纯度达到 99.0% 的高纯氟气。然后将所制备的高纯氟气与氮气或其他惰性气体按一定比例混装，通过分压法来实现混合气的充装，可根据需求与配气混合，广泛应用于电子、新材料、航空航天、医药卫生等领域。

【关键字】制氟；氟氮混合气充装；提纯；工艺流程