【摘要】为进一步提高镍基高温合金表面绝缘层的高温热绝缘性能，改善航空发动机在工作过程中应变传感器的性能稳定性，在 Ni 基基带表面通过直流反应溅射的方式先后制备 Al2O3、CeO2、Al2O3 3 层绝缘层，得到 Al2O3/CeO2/Al2O3复合绝缘层，并通过 X R D、S E M 表征方法对制备的样品进行微观结构分析，最后对绝缘层进行高温绝缘性能测试。结果表明，最终制备的复合绝缘层表面十分致密，未见脱落现象，具有良好的高温绝缘性，400 ℃绝缘电阻 100.1 KΩ、600 ℃绝缘电阻 19 KΩ、800 ℃绝缘电阻 10 KΩ。相对单层 Al2O3 绝缘层的绝缘电阻提升了两个数量级，满足了薄膜应变计在高温条件下的电绝缘要求，提高了应变测量可靠性。