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微型机器人的研究现状

周文博，谭晓兰，刘德祥，王月钦，班翔

【摘要】微型机器人是微电子机械系统的一个重要分支，由于它能进入人类和宏观机器人所不及的狭小空间 ,近年来备受关注。微 / 纳米技术的迅速发展促进了微型机器人技术的发展 , 本文主要分析了国内外微型机器人的研究现状。

【关键字】微型机器人；研究现状；机械